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大气机械手SRBJ1A-AS3491

关键字导读: TRACK ETCH PVD PECVD MOCVD MEMS CMP COATING CLEAN DETECT

描述:高洁净等级,高精度,高速传片,耐腐蚀,碰撞保护,Mapping功能,SEMI认证,提供接口及末端定制。

简介

Introduction

大气机械手广泛用于硅晶圆以及LED蓝宝石基片搬运。手臂采用先进的结构加强了手臂的刚性,并有效?#31181;?#25391;动,轻量化设计满足高速要求。本体的制造工艺改进有效降?#32479;?#26412;,提升市场竞争力。材料、加工以及表面处理多方面优选,以实现高洁净度。具有多重安全保护功能。肘部和腕部灵活控制,使得机器人可?#22278;?#29992;?#25105;?#23039;势来取放晶元,?#24066;?#26356;多的片盒直线排布,更节省空间,?#35270;?#24615;更强。是半导体行业的优势之选。


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参数

Parameter


结构形式Mechanical Structure柱坐标型/SCARA型 Cylindrical Coordinate/SCARA
负载Payload名称name晶圆wafer
?#26412;禿iameterΦ200mm/Φ300mm
重量weight≤0.5kg
自由度数DOF3
最大回转?#26412;禡aximum Swing diameter520mm

运动范围

Moving  Range
升降轴 (Z轴)Up/Down( Z)-Axis330mm
回转轴 (T轴) Rotational(T)-Axis330°
伸展轴 (R轴) Extension(Z)-AxisR736mm

最大速度

Maximum  Moving Speed
升降轴 (Z轴)Up/Down( Z)-Axis330mm/s
回转轴 (T轴) Rotational(T)-Axis360°
伸展轴 (R轴) Extension(Z)-Axis900mm/s

重复定位精度

Repeatability
升降轴 (Z轴)Up/Down( Z)-Axis±0.1 mm(3σ)
回转轴 (T轴) Rotational(T)-Axis±0.01°(3σ)
伸展轴 (R轴) Extension(Z)-Axis±0.1 mm(3σ)



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