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PINUS1-B

关键字导读: PECVD PVD ETCH MEMS

描述:直驱电机结构,全新的IO模块,具有先进的防碰撞保护功能及输入信号支硬件中断功能,拥有SEMI认证。满足个性化设计支持用户定制,?#30452;?#38271;度可选,可为客户提供接口及末端定制服务。

简介

Introduction

直驱电机结构具有更高的真空特性,内部结构没有齿轮,皮带等部件,系统运行的平稳性更好,可靠性更高。全新的IO模块,具有更多的输出输入引脚,用户可以根据需求配置成互锁,传感器检测等功能。输入信号支硬件中断功能,方便客户配置AWC等位置锁存功能应用。带有安全区配置功能和灵敏的碰撞保护功能,减少用户误操作导致的各种损失。带有大屏幕机器人示教器,方便调试人员使用,并支持热插拔功能。可以根据客户应用的特殊要求,定制?#30452;?#23610;寸,Z轴行程,耐高温耐腐蚀特性等。


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参数

Parameter


本体重量Body Weight50KG
适用晶圆尺寸Wafer Size300mm/200mm/150mm/125mm/100mm
负载Payload1KG
电源输入Power SupplyAC电压:100-240V    AC频率:50HZ/60HZ
节拍Bear4s-8.1s(Pick,Rotate180°,Place,根据?#31181;覆?#26009;,传输位置不同相关)
动态偏差纠正精度(AWC)±0.1mm
重复定位精度RepeatabilityZ: ±0.05mm(3σ)
T: ±0.003°(3σ)
R: ±0.05mm(3σ)
漏率Leak rate<  1 x 10E-9 std. cc/sec He
真空度Base Pressure5X10-9Torr

适用温度 Applicable  temperature

法兰:<120℃;本体:<50℃;?#30452;?<120℃

洁净度Clean Class

ISO  CLASS1

MCBF

>1100million cycles

复合运动 Compound  motion

支持Support
PC远程操作软件支持Support
通信接口Communications

Ethernet/串口serial interface

IO互锁IO interlock

支持Support

安全区Safe area

支持Support

碰撞保护Collision  protection

支持Support



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